ASTM F1723-96
Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии

Стандартный №

ASTM F1723-96

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1723-02

Последняя версия

ASTM F1723-02

сфера применения

1.1 В данной методике рекомендуются процедуры отбора проб стержней поликристаллического кремния и выращивания из этих образцов монокристаллов методом флотационной зоны. Полученные монокристаллические слитки анализируются спектрофотометрическими методами на определение микропримесей в поликремнии. Этими следовыми примесями являются акцепторные (обычно бор или алюминий, или и то, и другое), донорные (обычно фосфор или мышьяк, или и то, и другое) и углеродные примеси. ppba) для акцепторных и донорных примесей и от 0,05 до 5 частей/миллион атомных (ppma) для примеси углерода. Эти примеси анализируются в образцах слитков с помощью инфракрасной или фотолюминесцентной спектроскопии.

1.3 Этот метод применим только для оценки слитков поликремния, выращенных методом, в котором используется тонкий кремниевый стержень (нить), на который наносится поликристаллический кремний.

1.4 В этом методе используется горячий кислоту для травления поверхности поликремниевого стержня. Травитель потенциально вреден, и с ним необходимо всегда обращаться в вытяжном шкафу для кислотных вытяжек с особой осторожностью. Растворы плавиковой кислоты особенно опасны и не должны использоваться лицами, не знакомыми со специфическими профилактическими мерами и методами оказания первой помощи, указанными в соответствующем паспорте безопасности материала.

1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если любые, связанные с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1723-96 Ссылочный документ

• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-05-14 Обновление
• ASTM F1241 Стандартная терминология кремниевой технологии
• ASTM F1389 Стандартные методы испытаний для фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на наличие примесей III-V*， 2000-08-01 Обновление
• ASTM F1391 Стандартный метод определения содержания замещающего углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2025-05-14 Обновление
• ASTM F1630 Стандартный метод испытаний для низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей III-V*， 2000-12-10 Обновление
• ASTM F26 Стандартные методы испытаний для определения ориентации полупроводникового монокристалла
• ASTM F397 Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда
• ASTM F47 Метод обнаружения дефектов кристаллов кристаллического кремния
• ASTM F723 Стандартная практика преобразования удельного сопротивления в плотность легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком*， 1999-05-14 Обновление

ASTM F1723-96 История

• 2002 ASTM F1723-02 Стандартная практика оценки стержней поликристаллического кремния с помощью выращивания кристаллов в зоне плавления и спектроскопии
• 1996 ASTM F1723-96 Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации