ASTM F1049-00
Стандартная практика обнаружения неглубоких ямок травления на кремниевых пластинах

Стандартный №

ASTM F1049-00

Дата публикации

2000

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1049-02

Последняя версия

ASTM F1049-02

сфера применения

1.1 Этот метод используется для обнаружения неглубоких ямок травления, которые могут быть связаны с уровнем металлических примесей вблизи поверхности эпитаксиальных или полированных пластин кремния.

1.2 Эту методику рекомендуется использовать не для оценки плотности дефектов, а как субъективный способ оценки плотности и распределения дефектов на поверхности полированной или эпитаксиальной пластины.

1.3 Кристаллы кремния, легированные либо p-, либо n-типом, с удельным сопротивлением всего 0,005 омега-см. Эта практика применима для кремниевых пластин, выращенных в кристаллической ориентации (111) или (100).

1.4 В этом методе используется процесс термического окисления с последующим химическим травлением для создания и последующего очертания неглубоких ямок травления.

1.5 Значения, указанные в допустимых метрических единицах, следует считать стандартными. Значения в скобках предназначены только для информации.

1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9.

ASTM F1049-00 Ссылочный документ

• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• ASTM F154 Стандартное руководство по идентификации структур и загрязнений, обнаруженных на зеркальных кремниевых поверхностях*， 2002-03-01 Обновление
• ASTM F1725 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния
• ASTM F1727 Стандартная практика обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
• ASTM F1809 Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии
• ASTM F1810 Стандартный метод испытаний для подсчета преимущественно протравленных или декорированных поверхностных дефектов в кремниевых пластинах

ASTM F1049-00 История

• 2002 ASTM F1049-02 Практика обнаружения неглубоких ямок травления
• 2000 ASTM F1049-00 Стандартная практика обнаружения неглубоких ямок травления на кремниевых пластинах

стандарты и спецификации