ASTM F154-02 - Стандарты и спецификации PDF

сфера применения: 1.1 Цель данного руководства — перечислить, проиллюстрировать и предоставить ссылки на различные характерные особенности и загрязнения, которые видны на кремниевых пластинах с высокой степенью зеркального отражения. Приводятся рекомендуемые методы определения и наблюдения за этими артефактами. Артефакты, описанные в этом руководстве, предназначены для параллельного использования и поддержки содержимого SEMI M18. Эти артефакты и общие синонимы расположены в алфавитном порядке в таблицах 1 и 2 и проиллюстрированы на рис. 1-68.

ASTM F154-02 Ссылочный документ

ASTM F1241
ASTM F1725 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния*， 1997-10-26 Обновление
ASTM F1726 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства кремниевых пластин*， 1997-10-26 Обновление
ASTM F1727 Стандартная практика обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах*， 1997-10-26 Обновление
ASTM F1809 Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии*， 1997-10-26 Обновление
ASTM F1810
ASTM F523 Стандартная практика визуального контроля полированных поверхностей кремниевых пластин без посторонней помощи*， 1993-10-26 Обновление

1970 ASTM F154-02
2000 ASTM F154-00 Стандартное руководство по идентификации структур и загрязнений, видимых на зеркальных поверхностях кремния