ASTM F523-93(1997)
Стандартная практика визуального контроля полированных поверхностей кремниевых пластин без посторонней помощи
- Стандартный №
- ASTM F523-93(1997)
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F523-02
- Последняя версия
- ASTM F523-02
- сфера применения
- 1.1 Данная методика охватывает процедуру проверки для определения качества поверхности кремниевых пластин, отполированных с одной стороны. 1.2 Этот метод задуман как метод приемки больших объемов и как таковой не требует использования микроскопа или других оптических инструментов. Поскольку проверка зависит от остроты зрения оператора, результаты испытаний могут быть очень чувствительными для оператора. Примечание 1. Для уточнения идентификации некоторых наблюдаемых дефектов можно использовать процедуры, приведенные в Методике F154. 1.3 Дефекты, видимые невооруженным глазом на полированных поверхностях пластин, подразделяются на три группы в зависимости от геометрии освещения, которая лучше всего их очерчивает: свет высокой интенсивности на передней поверхности, рассеянный свет на передней поверхности и рассеянный свет на задней поверхности. Эти дефекты возникают по двум причинам: (1) вызваны дефектами кристалла кремния и (2) связаны с производственным процессом, включая обращение и упаковку. 1.4 Описанная проверка обычно проводится после полировки и очистки после полировки, но перед упаковкой. Хотя процедуры очистки и упаковки не являются частью этой практики, проверка может проводиться на упакованном продукте, чтобы определить влияние таких процедур на качество полированных пластин. 1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F523-93(1997) Ссылочный документ
ASTM F523-93(1997) История
- 1970 ASTM F523-02
- 1993 ASTM F523-93(1997) Стандартная практика визуального контроля полированных поверхностей кремниевых пластин без посторонней помощи
