ASTM F523-02
- Стандартный №
- ASTM F523-02
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- Последняя версия
- ASTM F523-02
- сфера применения
- 1.1 Данная методика охватывает процедуру проверки для определения качества поверхности кремниевых пластин, отполированных с одной стороны. 1.2 Этот метод предназначен для проведения приемки в больших объемах и не требует использования микроскопа или других оптических инструментов. Проверка во многом зависит от остроты зрения оператора; поэтому результаты испытаний могут быть очень чувствительны к оператору. ПРИМЕЧАНИЕ 1 — Для уточнения идентификации некоторых наблюдаемых дефектов можно использовать процедуры, приведенные в Методике F 154. 1.3 Дефекты, видимые невооруженным глазом на полированных поверхностях пластин, подразделяются на три группы в зависимости от геометрии освещения, которая лучше всего их очерчивает: свет высокой интенсивности на передней поверхности, рассеянный свет на передней поверхности и рассеянный свет на задней поверхности. Эти дефекты возникают по двум причинам: (1) дефекты кристалла кремния и (2) повреждения в результате производственного процесса, включая обращение и упаковку. 1.4 Описанная проверка обычно проводится после полировки и очистки после полировки, но перед упаковкой. Хотя процедуры очистки и упаковки не являются частью этой практики, проверка может проводиться на упакованном продукте, чтобы определить влияние таких процедур на качество полированных пластин. 1.5 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также за определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F523-02 Ссылочный документ
ASTM F523-02 История
- 1970 ASTM F523-02
- 1993 ASTM F523-93(1997) Стандартная практика визуального контроля полированных поверхностей кремниевых пластин без посторонней помощи
