ASTM F416-94

Стандартный №

ASTM F416-94

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F416-94

сфера применения

1.1 Этот метод испытаний охватывает обнаружение кристаллических дефектов в области поверхности кремниевых пластин, которые возникают или усиливаются в результате циклов окисления, возникающих при обработке устройств. Включены циклы окисления при атмосферном давлении, характерные для биполярных, МОП- и КМОП-технологий. Процедуры метода испытаний выявляют поля деформации, которые возникают из-за присутствия выделений, вызванных окислением или ранее существовавших дефектов упаковки, дислокаций и неглубоких ямок травления, которые могут иметь или не иметь вихревую форму. Кроме того, они также обнаруживают полосы, возникающие из-за изменений в легирующих примесях или других примесях, а также скольжение, возникающее из-за внутреннего напряжения в пластине или из-за краевых напряжений, вызванных ударным повреждением или опорами пластины. ПРИМЕЧАНИЕ. Многие дефекты, выявленные с помощью этого метода испытаний, также выявляются с помощью процедур метода испытаний F 47. Последний метод испытаний обычно используется для обнаружения дислокаций, скольжения, линий, границ зерен и других кристаллических дефектов в необработанных срезах кремния или вафли. 1.2 Применение метода испытаний ограничивается образцами, прошедшими химическую или химико-механическую полировку для удаления поверхностных повреждений по крайней мере с одной стороны образца. В принципе, процедуры этого метода испытаний можно применять для обнаружения дефектов в эпитаксиальных слоях; однако необходимо соблюдать осторожность, чтобы не протравить интересующий слой или область. 1.3 Сторона образца, противоположная исследуемой поверхности, может быть повреждена намеренно или иным образом обработана в геттерных целях или подвергнута химическому травлению для устранения повреждений. ПРИМЕЧАНИЕ 2. В противном случае идентичные пластины с различным состоянием задней поверхности могут дать разные результаты при использовании этого метода испытаний. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также определение применимости нормативных ограничений до Icse. Особая опасность. Этот метод испытаний находится под юрисдикцией Комитета ASTHI по электронике и прямой ответственностью Подкомитета FOl.06 по кремниевым материалам и контролю процессов. Текущее издание утверждено 15 июля 1994 г. Опубликовано в сентябре 1994 г. Первоначально опубликовано как F 416 75 T. Последнее предыдущее издание F 416 88. заявления приведены в разделе 9.

ASTM F416-94 Ссылочный документ

• ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды*， 1999-10-26 Обновление
• ASTM F47 
• ASTM F6 Метод определения объемной плотности диоксида германия*， 1982-01-01 Обновление

ASTM F416-94 История

• 1970 ASTM F416-94