ASTM F154-00
Стандартное руководство по идентификации структур и загрязнений, видимых на зеркальных поверхностях кремния
- Стандартный №
- ASTM F154-00
- Дата публикации
- 2000
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F154-02
- Последняя версия
- ASTM F154-02
- сфера применения
- 1.1 Цель данного руководства — перечислить, проиллюстрировать и предоставить ссылки на различные характерные особенности и загрязнения, которые видны на кремниевых пластинах с высокой степенью зеркального отражения. Приводятся рекомендуемые методы определения и наблюдения за этими артефактами. Артефакты, описанные в этом руководстве, предназначены для параллельного использования и поддержки содержимого SEMI M18. Эти артефакты и общие синонимы расположены в алфавитном порядке в таблицах 1 и 2 и проиллюстрированы на рис. 1-68.
ASTM F154-00 Ссылочный документ
- ASTM F1241
- ASTM F1725 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния
- ASTM F1726 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства кремниевых пластин
- ASTM F1727 Стандартная практика обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
- ASTM F1809 Стандартное руководство по выбору и использованию растворов травления для выделения структурных дефектов в кремнии
- ASTM F1810
- ASTM F523 Стандартная практика визуального контроля полированных поверхностей кремниевых пластин без посторонней помощи
ASTM F154-00 История
- 1970 ASTM F154-02
- 2000 ASTM F154-00 Стандартное руководство по идентификации структур и загрязнений, видимых на зеркальных поверхностях кремния
