ASTM F1389-00

Стандартный №

ASTM F1389-00

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F1389-00

сфера применения

1.1 Настоящие методы испытаний предусматривают одновременное определение содержания электрически активных бора, фосфора, мышьяка и алюминия в малодислокационном монокристаллическом кремнии. Эти химические соединения также можно определить с помощью процедуры метода испытаний F 1630. 1.2 Эти методы испытаний можно использовать для образцов, плотность большинства легирующих примесей которых составляет примерно от 1 3 10 11 до 5 3 1015 атомов/см3. 1.3 Концентрации, полученные с помощью этих методов испытаний, основаны на эмпирически установленном отношении логарифма концентрации к логарифму конкретных отношений интенсивностей линий люминесценции. 1.4 Установленная эмпирическая зависимость предполагает постоянный уровень возбуждения образца для всех измерений на данном приборе. 1.5 Чтобы учесть различия в приборах, в данное предложение включены два метода. «Метод испытаний А» относится к процедурам, подходящим для дисперсионных инфракрасных спектрофотометров, работающих в условиях высокого возбуждения образца, а «Метод испытаний Б» относится к процедурам, подходящим для приборов с преобразованием Фурье, работающих в условиях низкого возбуждения. 1.5.1 Приведены типичные калибровочные кривые для каждого метода испытаний. Эти кривые модифицируются для каждого прибора с использованием анализа стандартных образцов в качестве справочных данных. После модификации кривые для данного прибора должны давать значения плотности примеси в образце, которые согласуются с показателями других приборов с аналогичным управлением, использующих тот же метод испытаний. Данные, полученные с использованием метода испытаний А, могут не совпадать с данными, полученными с использованием метода испытаний Б, поэтому значения должны сообщаться со ссылкой на используемый метод испытаний. 1.6. Многие лаборатории используют фотолюминесценцию для анализа эпитаксиальных слоев. Однако в этом приложении встречается много переменных, и лежащая в их основе физика не до конца понятна; следовательно, эти методы испытаний не пытаются описать стандартную практику такого анализа. 1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1389-00 Ссылочный документ

• ASTM F1630 
• ASTM F1723 Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии*， 1996-10-26 Обновление
• ASTM F416 
• ASTM F723 

ASTM F1389-00 История

• 1970 ASTM F1389-00