1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение концентрации электрически активного бора, фосфора, мышьяка, алюминия, сурьмы и галлия в монокристаллическом кремнии. 1.2 Этот метод испытаний можно использовать для кремния, в котором концентрации примесей/легирующих примесей составляют от 0,01 до 5,0 частей на миллиард для каждого из электрически активных элементов. 1.3 Концентрацию каждой примеси/добавки можно получить, применив закон Бера. Калибровочные коэффициенты указаны для каждого элемента. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1630-00 Ссылочный документ
ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии*, 1981-10-26 Обновление
ASTM E168 Стандартные методы общих методов инфракрасного количественного анализа*, 1999-10-26 Обновление
ASTM E177 Стандартная практика использования терминов «точность» и «предвзятость» в методах испытаний ASTM*, 1990-10-26 Обновление
ASTM E275 Стандартная практика описания и измерения характеристик спектрофотометров ультрафиолетового, видимого и ближнего инфракрасного диапазона*, 1993-10-26 Обновление
ASTM F1723 Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии*, 1996-10-26 Обновление