ASTM F1391-93(2000)
Стандартный метод определения содержания замещающего углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения

Стандартный №

ASTM F1391-93(2000)

Дата публикации

2000

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1391-93(2000)

сфера применения

1.1. Данный метод 2 экспертных испытаний охватывает определение концентрации замещающего углерода в монокристаллическом кремнии. Поскольку углерод также может находиться в межузельных позициях решетки, в концентрациях, близких к пределу растворимости в твердом веществе, результаты этого метода испытаний могут не служить мерой общей концентрации углерода.

1.2 Полезный диапазон концентрации углерода, измеряемый с помощью этого метода испытаний, составляет от максимального количества замещающего углерода, растворимого в кремнии, до примерно 0,1 частей на миллион атомов (ppma), то есть 5 3 10 15 см-3 для измерений при комнатной температуре. , и примерно до 0,01 ppma, т.е. 0,5 3 1015 см -3 при криогенных температурах (ниже 80 К).

1.3 В этом методе испытаний используется взаимосвязь между концентрацией углерода и коэффициентом поглощения инфракрасной полосы поглощения, связанной с замещающим углеродом в кремнии. При комнатной температуре (около 300 К) пик полосы поглощения находится при 605 см-1 или 16,53 мкм. При криогенных температурах (ниже 80 К) пик полосы поглощения находится при 607,5 см-1 или 16,46 мкм.

1.4 Настоящий метод испытаний применим к пластинкам кремния с удельным сопротивлением более 3 В·см для p-типа и более 1 В·см для n-типа. Срезы могут иметь любую кристаллографическую ориентацию и должны быть отполированы с обеих поверхностей.

1.5 Этот метод испытаний предназначен для использования с инфракрасными спектрофотометрами, оборудованными для работы в диапазоне от 2000 до 500 см-1 (от 5 до 20 мкм).

1.6 В настоящем методе испытаний предусмотрены разделы, посвященные процедуре и расчетам, для случаев, когда значения толщины испытуемого и эталонного образцов как близко совпадают, так и не совпадают.

1.7 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1391-93(2000) Ссылочный документ

• ASTM E131 Стандартные определения терминов и символов, относящихся к молекулярной спектроскопии
• ASTM F1241 Стандартная терминология кремниевой технологии

ASTM F1391-93(2000) История

• 2000 ASTM F1391-93(2000) Стандартный метод определения содержания замещающего углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации