DIN 50438-1:1995 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение содержания примесей в кремнии методом инфракрасного поглощения. Часть 1. Кислород.
В этом документе указаны два метода неразрушающего определения содержания кислорода в кремнии путем инфракрасного поглощения.
DIN 50438-1:1995 История
1995DIN 50438-1:1995 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение содержания примесей в кремнии методом инфракрасного поглощения. Часть 1. Кислород.