ASTM F41-90
Метод выращивания монокристалла кремния методом плавающей зоны и оценка слитка поликристаллического кремния

Стандартный №

ASTM F41-90

Дата публикации

1990

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F41-90

сфера применения

1.1. Данная методика охватывает процедуру выращивания монокристаллов кремния методом флоат-зоны из стержня поликремния диаметром 19 мм в контролируемых стандартизированных условиях.

1.2 Кристаллы предназначены для характеристики с помощью различных измерений с целью оценки необработанного слитка поликристаллического кремния по методу испытаний F 574.

1.3 Эта практика не является единственно возможным набором условий, процедур и оборудования, которые можно использовать для приготовления монокристалла. образец для оценки. слитка поликремния. Пользователь должен убедиться, что любые изменения, внесенные в процедуру, эквивалентны.

1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные меры предосторожности приведены в разделе 5.

ASTM F41-90 Ссылочный документ

• ASTM D1125  Стандартные методы испытаний электропроводности и удельного сопротивления воды*， 1995-05-14 Обновление
• ASTM F26 Стандартные методы испытаний для определения ориентации полупроводникового монокристалла
• ASTM F47 Метод обнаружения дефектов кристаллов кристаллического кремния*， 1994-05-14 Обновление
• ASTM F574 Оценка поликремния

ASTM F41-90 История

• 1990 ASTM F41-90 Метод выращивания монокристалла кремния методом плавающей зоны и оценка слитка поликристаллического кремния

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации