ASTM F574-88

Стандартный №

ASTM F574-88

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F574-88

сфера применения

1.1 Настоящий метод испытаний распространяется на косвенное определение чистоты слитков поликремния диаметром 60 мм и более, предназначенных для использования при выращивании кристаллов методом Чохральского, путем характеризации монокристаллов, зонированных из поликремния. 3. Терминология 1.2. В этом методе испытаний используются различия в эффективных коэффициентах распределения бора и фосфора в кремнии и скоростях испарения бора и фосфора из кремния во время зонной плавки. Бор и фосфор — это две остаточные легирующие примеси, которые всегда присутствуют в поликристаллическом кремнии полупроводникового качества. 3.1 Описание терминов, относящихся к настоящему стандарту: 3.1.1 сердцевина – цилиндр из поликремния, полученный из более крупного куска поликремния путем сверления полым алмазным сверлом. 3.1.2 стержень судьи - монокристаллический стержень-поплавок, зонированный в вакууме не менее чем с шестью проходами, содержащий концентрацию бора менее 0,07 ppba. 3.2 Определение: 3.2.1 поликремний(поли)-поликристаллический кремний. 1.3. Полезный диапазон концентраций примесей, охватываемый этим методом, составляет от 0,02 до 20 частей на миллиард атомных кв.ба). 4. Краткое описание метода испытаний 1.4. Этот метод испытаний применим только для оценки слитков поликремния, выращенных методом, в котором используется тонкий кремниевый стержень, на который нанесен поликристаллический кремний. 1.5 Этот метод испытаний предназначен для использования в качестве экспертного метода, но его можно адаптировать для рутинных оценок. 1.6 Значения, указанные в единицах дюйм-фунт, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 4.1. Из контролируемого слитка получают керновые образцы поликремния. 1.i' Настоящий стандарт может касаться опасных материалов, операций и оборудования. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер по обеспечению безопасности и гигиены труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9. 4.2 Два поликремниевых сердечника очищаются последовательно растворителями и кислотами. Затем один монтируют в поплавковый зонирующий аппарат с газовой средой, а другой - в поплавковый зонирующий аппарат с вакуумной средой. 4.3. Два поликремниевых сердечника преобразуются в монокристаллические стержни методом плавающей зоны при заданных условиях: один за один проход в газовой среде, другой за шесть проходов в вакууме. 4.4. Тип и удельное сопротивление в центральной части каждого стержня определяются на расстоянии 0,4~дюйма. (10-мм) и рассчитаны средние концентрации бора и фосфора в стержне. По этим концентрациям рассчитываются концентрации бора и фосфора в слитке поликристаллического кремния:

ASTM F574-88 Ссылочный документ

• ASTM D1193 Стандартные спецификации для реагентной воды*， 1999-10-26 Обновление
• ASTM F397 Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда*， 1993-10-26 Обновление
• ASTM F4 Стандартные спецификации на полосу карбонизированного никеля и полосу карбонизированной никелированной и никелированной стали для электронных трубок*， 1966-10-26 Обновление
• ASTM F41 
• ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов*， 1993-10-26 Обновление

ASTM F574-88 История

• 1970 ASTM F574-88