ASTM F1708-96
Стандартная практика оценки гранулированного поликремния с помощью метрово-зональной спектроскопии

Стандартный №

ASTM F1708-96

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM F1708-02

Последняя версия

ASTM F1708-02

сфера применения

1.1 В этом методе описывается процедура консолидации гранулированного поликремния в твердый стержень, а затем преобразования стержня из поликремния в монокристалл методом флоат-зоны. Полученный монокристаллический слиток используют для определения следовых примесей в поликремнии. Этими примесями являются акцепторные и донорные компоненты (обычно бор, алюминий, фосфор, мышьяк и сурьма), а также замещающий углерод. и донорные примеси, а также от 0,03 до 5 атомных частей на миллион (ppma) углерода. Акцепторные и донорные примеси анализируются в срезе монокристаллического слитка методами фотолюминесцентной или инфракрасной спектроскопии. Примесь углерода определяется путем анализа среза с помощью инфракрасной спектроскопии.

1.3 Данная практика применима только для оценки гранул поликремния, полученных термическим осаждением силана или одного из хлорсиланов на зародыши поликремния высокой чистоты в непрерывном псевдоожиженном слое. реактор. Гранулы имеют форму, близкую к сферической, и имеют размер от 200 до 2500 956 мкм со средним размером около 900 956 мкм.

1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. . Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность приведены в разделе 9 и 12.

1.1.

ASTM F1708-96 Ссылочный документ

• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-05-14 Обновление
• ASTM F1241 Стандартная терминология кремниевой технологии
• ASTM F1389 Стандартные методы испытаний для фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на наличие примесей III-V*， 2000-08-01 Обновление
• ASTM F1391 Стандартный метод определения содержания замещающего углерода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2025-05-14 Обновление
• ASTM F1630 Стандартный метод испытаний для низкотемпературного ИК-Фурье анализа монокристаллического кремния на наличие примесей III-V*， 2000-12-10 Обновление

ASTM F1708-96 История

• 2002 ASTM F1708-02 Оценка гранулированного поликремния методом спектрального анализа с использованием технологии зоны расплава
• 1996 ASTM F1708-96 Стандартная практика оценки гранулированного поликремния с помощью метрово-зональной спектроскопии

стандарты и спецификации