ASTM F1723-02

Стандартный №

ASTM F1723-02

Дата публикации

1970

Разместил

/

Последняя версия

ASTM F1723-02

сфера применения

1.1. В данной методике рекомендуются процедуры отбора проб стержней поликристаллического кремния и выращивания из этих образцов монокристаллов методом зоны плавания. Полученные монокристаллические слитки анализируются спектрофотометрическими методами на определение микропримесей в поликремнии. Этими следовыми примесями являются акцептор (обычно бор или алюминий, или и то, и другое), донор (обычно фосфор или мышьяк, или и то, и другое) и углеродные примеси. 1.2 Полезный диапазон концентраций примесей, охватываемый этой практикой, составляет от 0,002 до 100 частей/миллиард атомных (ppba) для акцепторных и донорных примесей и от 0,05 до 5 частей/миллион атомных (ppma) для примеси углерода. Эти примеси анализируются в образцах слитков методами инфракрасной или фотолюминесцентной спектроскопии. 1.3 Данная методика применима только для оценки слитков поликремния, выращенных методом, в котором используется тонкий кремниевый стержень (нить), на который нанесен поликристаллический кремний. 1.4. В этом методе для травления поверхности поликремниевого стержня используется горячая кислота. Травитель потенциально вреден, и с ним необходимо всегда обращаться в вытяжном шкафу для кислотных вытяжек с особой осторожностью. Растворы плавиковой кислоты особенно опасны, и их не следует использовать лицам, не знакомым со специальными профилактическими мерами и мерами первой помощи, указанными в соответствующем паспорте безопасности материала. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и гигиены труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1723-02 Ссылочный документ

• ASTM C28 Стандартные спецификации на гипсовые штукатурки*， 1980-10-26 Обновление
• ASTM C35 Стандартные спецификации на неорганические заполнители для использования в гипсовой штукатурке*， 1995-10-26 Обновление
• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-10-26 Обновление
• ASTM F1241 
• ASTM F1389 
• ASTM F1391 
• ASTM F1630 
• ASTM F1725 Стандартное руководство по анализу кристаллографического совершенства слитков кремния*， 1997-10-26 Обновление
• ASTM F26 
• ASTM F397 Стандартный метод определения удельного сопротивления кремниевых стержней с использованием двухточечного зонда*， 1993-10-26 Обновление
• ASTM F42 Стандартные методы испытаний типа проводимости внешних полупроводниковых материалов*， 1993-10-26 Обновление
• ASTM F723 
• ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц*， 2015-12-01 Обновление

ASTM F1723-02 История

• 1970 ASTM F1723-02
• 1996 ASTM F1723-96 Стандартная практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии