DIN EN 62047-18 E:2011
Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний на изгиб тонкопленочных материалов (IEC 47F/76/CD:2011).

Стандартный №

DIN EN 62047-18 E:2011

Дата публикации

2011

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен

быть заменен

DIN EN 62047-18 E:2011-06

Последняя версия

DIN EN 62047-18:2014-04

Введение

Российский стандарт DIN EN 62047-18 E:2011 определяет методы изгиба для тонкопленочных материалов, используемых в микроэлектронных приборах. Этот стандарт является частью серии документов по устройствам на полупроводниках и направлен на обеспечение согласованности тестирования характеристик тонкопленочных материалов с целью улучшения их надежности и качества.

*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.

DIN EN 62047-18 E:2011 История

• 2014 DIN EN 62047-18:2014-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2014 DIN EN 62047-18:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011-06 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011 Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний на изгиб тонкопленочных материалов (IEC 47F/76/CD:2011).

стандарты и спецификации