DIN EN 62047-17 E:2011-06
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.
- Стандартный №
- DIN EN 62047-17 E:2011-06
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- состояние
- быть заменен
- DIN EN 62047-17:2015-12
- Последняя версия
- DIN EN 62047-17:2015-12
DIN EN 62047-17 E:2011-06 История
- 2015 DIN EN 62047-17:2015-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок (IEC 62047-17:2015); Немецкая версия EN 62047-17:2015
- 1970 DIN EN 62047-17 E:2011-06 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок.
