DIN EN 62047-17:2015-12
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок (IEC 62047-17:2015); Немецкая версия EN 62047-17:2015

Стандартный №

DIN EN 62047-17:2015-12

Дата публикации

2015

Разместил

German Institute for Standardization

Последняя версия

DIN EN 62047-17:2015-12

DIN EN 62047-17:2015-12 История

• 2015 DIN EN 62047-17:2015-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок (IEC 62047-17:2015); Немецкая версия EN 62047-17:2015
• 1970 DIN EN 62047-17 E:2011-06