DIN EN 62047-20 E:2012-07
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 20. Гироскопы.

Стандартный №

DIN EN 62047-20 E:2012-07

Дата публикации

2012

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен

быть заменен

DIN EN 62047-20:2015

Последняя версия

DIN EN 62047-20:2015-04

Введение

IEC 47F/122/CD:2012

Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 20: Гироскопы

Настоящий стандарт распространяется на гироскопы, используемые в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Он устанавливает методы измерения и испытаний для ключевых характеристик гироскопов, включая масштабный коэффициент, поперечную чувствительность, смещение нуля, выходной шум, частотную полосу и разрешающую способность. Стандарт также содержит информационные приложения по вопросам достоверности измерений параметров гироскопов.

DIN EN 62047-20 E:2012-07 История

• 2015 DIN EN 62047-20:2015-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 20. Гироскопы (IEC 62047-20:2014)
• 2015 DIN EN 62047-20:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 20. Гироскопы (IEC 62047-20:2014); Немецкая версия EN 62047-20:2014
• 2012 DIN EN 62047-20 E:2012-07 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 20. Гироскопы.
• 2012 DIN EN 62047-20 E:2012 Проект документа. Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 20. Гироскопы (IEC 47F/122/CD:2012).

стандарты и спецификации