Данная стандартизированная документация посвящена микромеханическим приборам на основе полупроводниковых устройств, в частности гироскопам. В составе серии стандартов под названием "Полупроводниковые устройства", данный документ является частью 20-й части и предназначен для описания конкретных требований к микромеханическим системам (MEMS) гироскопического типа. Он разработан немецкой организацией по стандартизации, которая действует под названием DE-DIN, и был опубликован в июле 2012 года.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.