Данная часть стандарта IEC 62047 определяет терминологию, используемую в микросистемных технологиях (МСТ), включая процесс производства таких устройств.
DIN EN 62047-1 E:2014-05 Ссылочный документ
IEC 60194:1999 Проектирование, изготовление и сборка печатных плат. Термины и определения
2016DIN EN 62047-1:2016-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2016); Немецкая версия EN 62047-1:2016 / Примечание: DIN EN 62047-1 (2006-10) остается действительным наряду с этим стандартом до 10 февраля 2019 г.
2016DIN EN 62047-1:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2016); Немецкая версия EN 62047-1:2016
2006DIN EN 62047-1:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2005); Немецкая версия EN 62047-1:2006.