DS/EN 62047-1:2006
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.

Стандартный №

DS/EN 62047-1:2006

Дата публикации

2006

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN 62047-1:2006

сфера применения

Эта часть 62047 определяет термины для микроэлектромеханических устройств, включая процесс производства таких устройств.

DS/EN 62047-1:2006 История

• 2006 DS/EN 62047-1:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.

стандарты и спецификации