European Committee for Electrotechnical Standardization(CENELEC)
Последняя версия
EN 62047-1:2016
сфера применения
МЭК 62047-1:2016 определяет термины для микроэлектромеханических устройств, включая процесс производства таких устройств. Настоящее издание включает следующие существенные технические изменения по сравнению с предыдущим изданием: а) удаление десяти терминов; б) пересмотр двенадцати терминов. ; в) добавление шестнадцати новых терминов.
EN 62047-1:2016 История
2016EN 62047-1:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.
2006EN 62047-1:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства Часть 1. Термины и определения