IEC 62047-1:2005
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.
- Стандартный №
- IEC 62047-1:2005
- Дата публикации
- 2005
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- состояние
- 2016-01
- быть заменен
- IEC 62047-1:2016
- Последняя версия
- IEC 62047-1:2016
- заменять
- IEC 47/1821/FDIS:2005
- сфера применения
- Эта часть IEC 62047 определяет термины для микроэлектромеханических устройств, включая процесс производства таких устройств.
IEC 62047-1:2005 История
- 2016 IEC 62047-1:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.
- 2005 IEC 62047-1:2005 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.
