Этот стандарт относится к семейству нормативных документов по микромеханическим устройствам на основе полупроводниковых технологий. В первой части серии описываются основные термины и определения, используемые в данной области техники. Стандарт предназначен для обеспечения согласованности и точности применения специфических понятий при разработке, производстве и эксплуатации микромеханических устройств.
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.
DANSK DS/EN 62047-1:2016 История
2016DANSK DS/EN 62047-1:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.