IEC 62047-1:2016
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.

Стандартный №

IEC 62047-1:2016

Дата публикации

2016

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-1:2016

заменять

IEC 47F/232/FDIS:2015 IEC 62047-1:2005

сфера применения

Эта часть IEC 62047 определяет термины для микроэлектромеханических устройств, включая процесс производства таких устройств.

IEC 62047-1:2016 История

• 2016 IEC 62047-1:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.
• 2005 IEC 62047-1:2005 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения.