DIN EN 62047-1:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2005); Немецкая версия EN 62047-1:2006.
2016DIN EN 62047-1:2016-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2016); Немецкая версия EN 62047-1:2016 / Примечание: DIN EN 62047-1 (2006-10) остается действительным наряду с этим стандартом до 10 февраля 2019 г.
2016DIN EN 62047-1:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2016); Немецкая версия EN 62047-1:2016
2006DIN EN 62047-1:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2005); Немецкая версия EN 62047-1:2006.