IEC 62047-14:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов.

Стандартный №

IEC 62047-14:2012

Дата публикации

2012

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-14:2012

заменять

IEC 47F/108/FDIS:2011

сфера применения

В этой части IEC 62047 описаны определения и процедуры измерения предела формирования металлических пленочных материалов с диапазоном толщины от 0@5 ?? до 300 ??. Описанные здесь металлические пленочные материалы обычно используются в электрических компонентах, МЭМС и микроустройствах. Когда металлические пленочные материалы, используемые в МЭМС (см. 2.1.2 стандарта IEC 62047-1:2005), изготавливаются с помощью такого процесса формования, как импринтинг, необходимо прогнозировать разрушение материала, чтобы повысить надежность компонентов. Благодаря этому прогнозу эффективность производства компонентов МЭМС с помощью процесса формования также может быть улучшена, поскольку период разработки продукта может быть сокращен и, таким образом, могут быть уменьшены производственные затраты. В этом стандарте представлен один из методов прогнозирования разрушения материала в процессе печати.

IEC 62047-14:2012 История

• 2012 IEC 62047-14:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов.