DIN EN 62047-1:2016-12
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 1. Термины и определения (IEC 62047-1:2016); Немецкая версия EN 62047-1:2016 / Примечание: DIN EN 62047-1 (2006-10) остается действительным наряду с этим стандартом до 10 февраля 2019 г.