DIN EN 62047-21 E:2012-11
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.
- Стандартный №
- DIN EN 62047-21 E:2012-11
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- состояние
- быть заменен
- DIN EN 62047-21:2015
- Последняя версия
- DIN EN 62047-21:2015-04
DIN EN 62047-21 E:2012-11 История
- 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014).
- 2015 DIN EN 62047-21:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014); Немецкая версия EN 62047-21:2014
- 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.
