DIN EN 62047-21:2015
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014); Немецкая версия EN 62047-21:2014
- Стандартный №
- DIN EN 62047-21:2015
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN EN 62047-21:2015-04
- Последняя версия
- DIN EN 62047-21:2015-04
- заменять
- DIN EN 62047-21:2012
DIN EN 62047-21:2015 Ссылочный документ
- ASTM E132-04 Стандартный метод определения коэффициента Пуассона при комнатной температуре*， 2023-11-08 Обновление
DIN EN 62047-21:2015 История
- 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014).
- 2015 DIN EN 62047-21:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014); Немецкая версия EN 62047-21:2014
- 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11
- 0000 DIN EN 62047-21:2012
