DIN EN 62047-21:2015-04
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014).

Стандартный №

DIN EN 62047-21:2015-04

Дата публикации

2015

Разместил

German Institute for Standardization

Последняя версия

DIN EN 62047-21:2015-04

DIN EN 62047-21:2015-04 История

• 2015 DIN EN 62047-21:2015-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014).
• 2015 DIN EN 62047-21:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов (IEC 62047-21:2014); Немецкая версия EN 62047-21:2014
• 1970 DIN EN 62047-21 E:2012-11
• 0000 DIN EN 62047-21:2012