DIN EN 62047-16 E:2012-11
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки

Стандартный №

DIN EN 62047-16 E:2012-11

Дата публикации

2012

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен

быть заменен

DIN EN 62047-16:2015

Последняя версия

DIN EN 62047-16:2015-12

Введение

IEC 47F/125/CD:2012

Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 16: Методы испытаний для определения остаточных напряжений в тонких пленках MEMS - Методы кривизны подложки и отклонения консольной балки

Данный стандарт устанавливает методы определения остаточных напряжений в тонких пленках микроэлектромеханических систем (MEMS) с использованием двух основных методик: измерение кривизны подложки (wafer curvature method) и измерение отклонения консольной балки (cantilever beam deflection method). Стандарт применяется для контроля качества и характеристик тонкопленочных структур, используемых в производстве MEMS-устройств, включая сенсоры, актюаторы и другие микросистемные компоненты. Методы позволяют количественно оценить механические напряжения, возникающие в процессе осаждения тонких пленок, что критически важно для обеспечения надежности и стабильности работы микроэлектромеханических устройств.

DIN EN 62047-16 E:2012-11 История

• 2015 DIN EN 62047-16:2015-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки (IEC 62047-16:2015); Немецкая версия EN 62047-16:2015
• 2015 DIN EN 62047-16:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки (IEC 62047-16:2015); Немецкая версия EN 62047-16:2015
• 2012 DIN EN 62047-16 E:2012-11 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки
• 2012 DIN EN 62047-16 E:2012 Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластины и отклонения консольной балки (IEC 47F/125/CD:2012).

стандарты и спецификации