DIN EN 62047-16 E:2012-11
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки
- Стандартный №
- DIN EN 62047-16 E:2012-11
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- состояние
- быть заменен
- DIN EN 62047-16:2015-12
- Последняя версия
- DIN EN 62047-16:2015-12
DIN EN 62047-16 E:2012-11 История
- 2015 DIN EN 62047-16:2015-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки (IEC 62047-16:2015); Немецкая версия EN 62047-16:2015
- 1970 DIN EN 62047-16 E:2012-11 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки
