DIN EN 62047-16:2015-12
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки (IEC 62047-16:2015); Немецкая версия EN 62047-16:2015

Стандартный №

DIN EN 62047-16:2015-12

Дата публикации

2015

Разместил

German Institute for Standardization

Последняя версия

DIN EN 62047-16:2015-12

---

DIN EN 62047-16:2015-12 История

• 2015 DIN EN 62047-16:2015-12 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки (IEC 62047-16:2015); Немецкая версия EN 62047-16:2015
• 2015 DIN EN 62047-16:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластин и отклонения консольной балки (IEC 62047-16:2015); Немецкая версия EN 62047-16:2015
• 2012 DIN EN 62047-16 E:2012-11 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки
• 2012 DIN EN 62047-16 E:2012 Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Методы кривизны пластины и отклонения консольной балки (IEC 47F/125/CD:2012).

стандарты и спецификации