DIN EN 62047-18 E:2011-06
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.

Стандартный №

DIN EN 62047-18 E:2011-06

Дата публикации

2011

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен 2014-04

быть заменен

DIN EN 62047-18:2014

Последняя версия

DIN EN 62047-18:2014-04

Введение

IEC 47F/76/CD:2011

Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические устройства - Часть 18: Методы испытаний на изгиб тонкопленочных материалов

Данный стандарт применяется для определения методов испытаний на изгиб тонкопленочных материалов, используемых в микроэлектромеханических устройствах (МЭМС). Он охватывает процедуры подготовки микрообразцов, методы их крепления, условия проведения испытаний, измерения отклонения и анализа данных. Стандарт предназначен для производителей и исследователей в области микросистемной техники, обеспечивая единые методики оценки механических свойств тонких пленок.

DIN EN 62047-18 E:2011-06 История

• 2014 DIN EN 62047-18:2014-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2014 DIN EN 62047-18:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011-06 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011 Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний на изгиб тонкопленочных материалов (IEC 47F/76/CD:2011).

стандарты и спецификации