IEC 62047-18:2013
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.

Стандартный №

IEC 62047-18:2013

Дата публикации

2013

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-18:2013

заменять

IEC 47F/155/FDIS:2013

сфера применения

Эта часть IEC 62047 определяет метод испытания на изгиб тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной в диапазоне от 0@1 ?? и 10 ??. Тонкие пленки используются в качестве основных конструкционных материалов для микроэлектромеханических систем (сокращенно МЭМС в этом документе) и микромашин. Основные конструкционные материалы для МЭМС@ микромашин@ и т.д.@ имеют особые характеристики@, такие как изготовление материала размером в несколько микрон@ путем осаждения@ фотолитографии@ и/или испытательного образца немеханической обработки. Настоящий международный стандарт определяет испытания на изгиб и форму образцов для гладких образцов микроразмерного консольного типа, что обеспечивает гарантию точности, соответствующей особым характеристикам.

IEC 62047-18:2013 История

• 2013 IEC 62047-18:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации