DIN EN 62047-18:2014-04
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013

Стандартный №

DIN EN 62047-18:2014-04

Дата публикации

2014

Разместил

German Institute for Standardization

Последняя версия

DIN EN 62047-18:2014-04

сфера применения

Данная часть стандарта IEC 62047 определяет метод испытания на изгиб тонкопленочных материалов с длиной и шириной менее 1 мм и толщиной в диапазоне от 0,1 мкм до 10 мкм. Тонкопленочные материалы используются в качестве основных конструкционных материалов для микроэлектромеханических систем (в данном документе сокращенно MEMS) и микроустройств. Эти основные конструкционные материалы для MEMS, микроустройств и т. д. обладают особыми свойствами, такими как размеры в микрометровом масштабе, процессы изготовления материалов с использованием осаждения из паровой фазы и фотолитографии, и/или немеханическая обработка микрообразцов. Данный международный стандарт определяет испытание на изгиб и форму образца как полированный, консольный образец с размерами в микрометровом масштабе, обеспечивающий точность, соответствующую этим особым свойствам.

DIN EN 62047-18:2014-04 Ссылочный документ

• EN 62047-6 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 6. Методы испытаний тонкопленочных материалов на осевую усталость.
• IEC 62047-6 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 6. Методы испытаний тонкопленочных материалов на осевую усталость.

DIN EN 62047-18:2014-04 История

• 2014 DIN EN 62047-18:2014-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2014 DIN EN 62047-18:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011-06 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011 Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний на изгиб тонкопленочных материалов (IEC 47F/76/CD:2011).

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации