IEC 62047-6:2009
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 6. Методы испытаний тонкопленочных материалов на осевую усталость.
- Стандартный №
- IEC 62047-6:2009
- Дата публикации
- 2009
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-6:2009
- заменять
- IEC 47F/15/FDIS:2009
IEC 62047-6:2009 История
- 2009 IEC 62047-6:2009 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 6. Методы испытаний тонкопленочных материалов на осевую усталость.
