BS IEC 62047-43:2024 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания электрических характеристик после циклического изгибного деформирования гибких микроэлектромеханических устройств. - Стандарты и спецификации PDF

BS IEC 62047-43:2024
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания электрических характеристик после циклического изгибного деформирования гибких микроэлектромеханических устройств.

Стандартный №
BS IEC 62047-43:2024
Дата публикации
2024
Разместил
British Standards Institution (BSI)
Последняя версия
BS IEC 62047-43:2024
 

сфера применения

Анализ основного содержания стандарта

Настоящий стандарт устанавливает унифицированный метод испытания электрических характеристик гибких микроэлектромеханических устройств (МЭМС) при циклических изгибающих нагрузках, уделяя особое внимание решению задач оценки надежности таких изделий, как гибкие датчики и складные электронные устройства. Для визуализации закономерностей снижения производительности устройств используется трёхмерная кривая PSN (производительность – интенсивность изгиба – количество циклов).


Ключевые технические требования

  • При d>l/2: ±1%
  • l/3<d≤l/2: ±3%
  • d≤l/10: ±5%

Характеристики подготовки образцов

Рекомендуемые размеры прямоугольных образцов: длина 1–300 мм, толщина 10 мкм–1 мм. Убедитесь, что функциональная область прибора центрирована на образце, а изгибы следует проверять как в ориентациях 0°, так и 90°.


Построение 3D-кривой PSN

С помощью нескольких наборов различных испытаний комбинации dmin/dmax строится поверхность параметров производительности (сопротивление/емкость и т. д.), изменяющихся в зависимости от степени изгиба и количества циклов:

  1. Начальная производительность: базовое значение при максимальном расстоянии сгиба
  2. Первый изгиб: запись ухудшения производительности при dmin>
  3. Этап циклирования: измерение производительности при dmin и dmax после каждых N циклов

Типичное условие завершения: производительность падает до 10% от начального значения или выполняется 106 циклов.


Рекомендации по стандартному применению

Этап разработки продукта

Многоосное циклическое тестирование рекомендуется на ранних этапах проектирования гибких схем для выявления хрупких межсоединений. Исследование показывает, что серебряный провод 0,2 мм с расстоянием изгиба 30 мм демонстрирует увеличение сопротивления на 40% после 2000 циклов.

Требования к отчету об испытаниях

Должен включать: принципиальную схему направления/положения изгиба, размеры образца (основные параметры длины), трехмерную кривую снижения производительности и условия испытаний (температура, влажность и частота нагрузки). Для улучшения читаемости данных рекомендуется двухмерное поперечное сечение.

Предыстория развития технологий

В связи с растущим спросом на гибкие датчики для Интернета вещей традиционные статические испытания на изгиб (IEC 62047-35) уже недостаточны для оценки реальных условий эксплуатации. Метод PSN этого стандарта инновационно решает такие проблемы, как оценка многоуровневой связи нагрузки и особые требования к испытаниям складного оборудования, предоставляя отрасли единую систему проверки надежности.

BS IEC 62047-43:2024 Ссылочный документ

  • IEC 62047-35:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 35. Метод испытания электрических характеристик при изгибной деформации гибких электромеханических устройств.

BS IEC 62047-43:2024 История

  • 2024 BS IEC 62047-43:2024 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания электрических характеристик после циклического изгибного деформирования гибких микроэлектромеханических устройств.
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания электрических характеристик после циклического изгибного деформирования гибких микроэлектромеханических устройств.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации

IEC 62047-43:2024 Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические приборы - Часть 43: Метод испытания электрических характеристик после циклической изгибной деформации DIN EN 62047-22 E:2012-11 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких BS IEC 62047-35:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытания электрических характеристик при изгибной деформации гибких электромеханических DIN EN 62047-28 E:2015-09 Полупроводниковые приборы - Микроэлектромеханические приборы - Часть 28: Методы функциональных испытаний для устройств сбора энергии с электрическим приводом IEC 62047-44:2024 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 44. Методы испытаний динамических характеристик МЭМС-резонансных устройств, чувствительных BS IEC 62047-34:2019 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний пьезорезистивного устройства MEMS, чувствительного к давлению на пластине DIN EN 62047-17 E:2011-06 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 17. Метод испытания на выпучивание для измерения механических свойств тонких пленок BS IEC 62047-48:2024 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод испытаний для определения концентрации раствора методом оптического поглощения DIN EN 62047-20 E:2012-07 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 20. Гироскопы



© 2025. Все права защищены.

Элементы испытания IEC 62047-35 (статический изгиб) IEC 62047-43 (циклический изгиб)
Цель испытания Оценка предела одинарного изгиба Закон снижения производительности при циклическом нагружении
Основные параметры Минимальное расстояние сгиба dmin Диапазон расстояний сгиба (dmin-dmax)
Представление данных Двумерная кривая PS