DIN EN 62047-18:2014
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013

Стандартный №

DIN EN 62047-18:2014

Дата публикации

2014

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

быть заменен

быть заменен

DIN EN 62047-18:2014-04

Последняя версия

DIN EN 62047-18:2014-04

заменять

DIN EN 62047-18:2011

сфера применения

Данный стандарт устанавливает метод испытания на изгиб для тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной от 0,1 мкм до 10 мкм. Тонкопленочные материалы используются в качестве основных конструкционных материалов для микроэлектромеханических систем (МЭМС) и микрокомпонентов. Стандарт устанавливает, что образец для испытания должен быть подготовлен в виде полированной консольной балки с размерами в микрометровом масштабе, чтобы обеспечить соответствие точности испытания особым свойствам тонкопленочного материала.

DIN EN 62047-18:2014 История

• 2014 DIN EN 62047-18:2014-04 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2014 DIN EN 62047-18:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб (IEC 62047-18:2013); Немецкая версия EN 62047-18:2013
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011-06 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний тонкопленочных материалов на изгиб.
• 2011 DIN EN 62047-18 E:2011 Проект документа. Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 18. Методы испытаний на изгиб тонкопленочных материалов (IEC 47F/76/CD:2011).

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации