ASTM F1238-95(2011)
Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике

Стандартный №

ASTM F1238-95(2011)

Дата публикации

1995

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1238-95(2011)

сфера применения

1.1 Данная спецификация охватывает мишени для распыления, изготовленные из силицидов металлов (силицид молибдена, силицид тантала, силицид титана и силицид вольфрама). Эти мишени называются тугоплавкими силицидными мишенями и предназначены для использования в микроэлектронике.

1.2 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены.

ASTM F1238-95(2011) История

• 1995 ASTM F1238-95(2011) Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике
• 1995 ASTM F1238-95(2003) Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике
• 1995 ASTM F1238-95(1999) Стандартные спецификации для мишеней для распыления тугоплавких силицидов для применения в микроэлектронике

стандарты и спецификации