ASTM F1367-98(2011)
Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок

Стандартный №

ASTM F1367-98(2011)

Дата публикации

1998

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1367-98(2011)

сфера применения

1.1 Данная спецификация охватывает мишени для распыления, изготовленные из металлического хрома. 1.2 Данная спецификация устанавливает уровни чистоты, физические свойства, аналитические методы и требования к упаковке. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены.

ASTM F1367-98(2011) Ссылочный документ

• ASTM E112  Стандартные методы испытаний для определения среднего размера зерна

ASTM F1367-98(2011) История

• 1998 ASTM F1367-98(2011) Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок
• 1998 ASTM F1367-98(2003) Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок
• 1998 ASTM F1367-98 Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок