1.1 Данная спецификация охватывает мишени для распыления, изготовленные из металлического хрома. 1.2 Данная спецификация устанавливает уровни чистоты, физические свойства, аналитические методы и требования к упаковке. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, считаются стандартными.
ASTM F1367-98(2003) История
1998ASTM F1367-98(2011) Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок
1998ASTM F1367-98(2003) Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок
1998ASTM F1367-98 Стандартные спецификации на хромовые мишени для распыления тонких пленок