ASTM F1761-00(2011)
Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления

Стандартный №

ASTM F1761-00(2011)

Дата публикации

2000

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F1761-00(2011)

заменить на

ASME B18.6.3-2013

сфера применения

Стандартной практикой является использование источников магнетронного катодного распыления при производстве тонкопленочных магнитных носителей данных. Но ферромагнитная мишень для распыления имеет тенденцию шунтировать магнитное поле распылительного катода, тем самым снижая эффективность процесса распыления. Производители мишеней для распыления разработали различные способы управления микроструктурой сплавов, чтобы минимизировать нежелательный эффект катодного шунтирования. Однако из-за различных методов производства мишени одного поставщика могут иметь магнитные свойства значительно лучше или хуже, чем у другого, даже если составы сплавов одинаковы. Этот метод испытаний позволяет сравнивать магнитную шунтирующую способность магнитных мишеней в стандартных условиях испытаний. Результаты полезны для целевых поставщиков и покупателей при прогнозировании целевых показателей, определении целевого качества и квалификации входящих целевых поставок. Этот тест также может быть полезен для количественной оценки усилий по улучшению целевых показателей. Этапы производственного процесса, которые снижают магнитную проницаемость целевого материала, имеют тенденцию увеличивать PTF, и наоборот. В принципе, можно предсказать PTF, накопив достаточные данные о проницаемости и зная толщину мишени и напряженность поля магнитного узла, используемого для магнетронного распыления.1.1 Этот метод испытаний охватывает измерение постоянного магнитного поля, передаваемого через ферромагнитную мишень для распыления. (&#“проходить через флюс&#” или &#“PTF&#”). В этом методе испытаний исходное магнитное поле находится в направлении окружности испытуемой мишени. 1.2 Данной методикой могут характеризоваться плоские дискообразные мишени диаметром от 5 до 8 дюймов включительно (от 125 до 205 мм включительно) и толщиной от 0,1 до 0,5 дюйма включительно (от 2,5 до 13 мм). 1.3 Данный метод испытаний применим также к мишеням, имеющим открытый центр, например, к мишеням диаметром 5 дюймов. внешний диаметр на 2,5 дюйма. внутренний диаметр на 0,25 дюйма. толщиной (наружный диаметр 127 мм, внутренний диаметр 63,5 мм, толщина 6,35 мм). 1.4 Мишени различного диаметра и толщины закрепляются с помощью подходящего приспособления, позволяющего совместить испытуемый образец с исходным магнитом, установленным в испытательном приспособлении. В этой процедуре указана оснастка, охватывающая несколько популярных конструкций мишеней. Дополнительные целевые конфигурации можно протестировать, предоставив специальные инструменты. При использовании специального приспособления все стороны, участвующие в испытаниях, должны согласиться с условиями проведения испытаний. 1.5 Значения, указанные в единицах дюйм-фунт, следует рассматривать как стандартные. Значения, приведенные в скобках, представляют собой математические преобразования в единицы СИ, которые предоставляются только для информации и не считаются стандартными. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1761-00(2011) История

• 2000 ASTM F1761-00(2011) Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления
• 2000 ASTM F1761-00(2005) Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления
• 2000 ASTM F1761-00 Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления