Стандартной практикой является использование источников магнетронного катодного распыления при производстве тонкопленочных магнитных носителей данных. Но ферромагнитная мишень для распыления имеет тенденцию шунтировать распылительные катоды; магнитное поле, тем самым снижая эффективность процесса распыления. Производители мишеней для распыления разработали различные способы управления микроструктурой сплавов, чтобы минимизировать нежелательный эффект катодного шунтирования. Однако из-за различных методов производства мишени одного поставщика могут иметь магнитные свойства значительно лучше или хуже, чем у другого, даже если составы сплавов одинаковы. Этот метод испытаний позволяет сравнивать магнитную шунтирующую способность магнитных мишеней в стандартных условиях испытаний. Результаты полезны для целевых поставщиков и покупателей при прогнозировании целевых показателей, определении целевого качества и квалификации входящих целевых поставок. Этот тест также может быть полезен для количественной оценки усилий по улучшению целевых показателей. Этапы производственного процесса, которые снижают магнитную проницаемость целевого материала, имеют тенденцию увеличивать PTF, и наоборот. В принципе, можно предсказать PTF, накопив достаточные данные о проницаемости и зная толщину мишени и напряженность поля магнитного узла, используемого для магнетронного распыления.1.1 Этот метод испытаний охватывает измерение постоянного магнитного поля, передаваемого через ферромагнитную мишень для распыления. («проходной флюс» или «ПТФ»). В данном методе испытаний источник магнитного поля расположен в направлении по окружности испытуемой мишени.1.2 Плоские мишени в форме диска диаметром от 5 до 8 дюймов включительно (от 125 до 205 мм включительно) и толщиной от 0,1 до 0,5 дюйма включительно (2,5 мм) до 13 мм) можно охарактеризовать с помощью этой процедуры. 1.3 Этот метод испытаний также применим к мишеням, имеющим открытый центр, например, к мишеням диаметром 5 дюймов. внешний диаметр на 2,5 дюйма. внутренний диаметр на 0,25 дюйма. толщиной (наружный диаметр 127 мм, внутренний диаметр 63,5 мм, толщина 6,35 мм). 1.4 Мишени различного диаметра и толщины закрепляются с помощью подходящего приспособления, позволяющего совместить испытуемый образец с исходным магнитом, установленным в испытательном приспособлении. В этой процедуре указана оснастка, охватывающая несколько популярных конструкций мишеней. Дополнительные целевые конфигурации можно протестировать, предоставив специальные инструменты. При использовании специального приспособления все стороны, участвующие в испытаниях, должны согласиться с условиями проведения испытания. 1.5 Значения, указанные в единицах дюймов-фунтов, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1761-00(2005) История
2000ASTM F1761-00(2011) Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления
2000ASTM F1761-00(2005) Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления
2000ASTM F1761-00 Стандартный метод испытаний на сквозной поток круглых мишеней магнитного распыления