ASTM F1513-99(2011) Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах

сфера применения: 1.1 Данная спецификация охватывает чистый металлический алюминий (нелегированный) для использования в источниках испарения и мишенях для распыления. Этот материал предназначен в качестве сырья для электронных приложений. В некоторых случаях материал используется в исходном виде (например, в качестве источников электронно-лучевого испарения). В других случаях он может быть переплавлен, легирован, отлит и обработан покупателем для изготовления готовой продукции (например, мишеней для напыления). 1.2 Данная спецификация устанавливает уровни чистоты, физические свойства, аналитические методы и упаковку. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены.

ASTM F1513-99(2011) Ссылочный документ

ASTM D1971 Стандартные методы разложения проб воды для определения металлов методами пламенной атомной абсорбции, атомной абсорбции в графитовой печи, плазменной эмиссионной спектроскопии или плазменной масс-спектрометрии*， 2002-03-10 Обновление

1999 ASTM F1513-99(2011) Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1999 ASTM F1513-99(2003) Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1999 ASTM F1513-99 Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах