ASTM F1513-99(2003) Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1.1 Данная спецификация охватывает чистый металлический алюминий (нелегированный) для использования в источниках испарения и мишенях для распыления. Этот материал предназначен в качестве сырья для электронных приложений. В некоторых случаях материал используется в исходном виде (например, в качестве источников электронно-лучевого испарения). В других случаях он может быть переплавлен, легирован, отлит и обработан покупателем для изготовления готовой продукции (например, мишеней для напыления). 1.2 Данная спецификация устанавливает уровни чистоты, физические свойства, аналитические методы и упаковку. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации.
ASTM F1513-99(2003) История
1999ASTM F1513-99(2011) Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1999ASTM F1513-99(2003) Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1999ASTM F1513-99 Стандартные спецификации для исходного материала из чистого алюминия (нелегированного) для применения в тонкопленочных электронных устройствах