ASTM F2113-01 Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
1.1 В настоящем руководстве рассматриваются мишени для распыления, используемые в качестве тонкопленочного исходного материала при изготовлении полупроводниковых электронных устройств. Его следует использовать для разработки спецификаций мишеней для конкретных материалов, и на него должны быть ссылки. 1.2 Настоящий стандарт устанавливает уровни чистоты, аналитические методы и метод отчетности о содержании примесей. и формат.1.2.1 Обозначение класса является показателем общего содержания металлических примесей.Обозначение класса не обязательно указывает на пригодность для конкретного применения, поскольку на эксплуатационные характеристики могут влиять и другие факторы, помимо общего содержания металлических примесей.
ASTM F2113-01 История
2001ASTM F2113-01(2011) Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
2007ASTM F2113-01(2007) Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
2001ASTM F2113-01e1 Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
2001ASTM F2113-01 Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах