ASTM F2113-01(2007)
Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах

Стандартный №: ASTM F2113-01(2007)
Дата публикации: 2007
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM F2113-01(2011)
Последняя версия: ASTM F2113-01(2011)

ASTM F2113-01(2007) История

2001 ASTM F2113-01(2011) Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
2007 ASTM F2113-01(2007) Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
2001 ASTM F2113-01e1 Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
2001 ASTM F2113-01 Стандартное руководство по анализу и составлению отчетов о содержании и классе примесей в металлических мишенях для распыления высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах