GB/T 26069-2010
Спецификация на кремниевые отожженные пластины (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 26069-2010

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2011

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

состояние

быть заменен 2022-10

быть заменен

GB/T 26069-2022

Последняя версия

GB/T 26069-2022

сфера применения

Этот стандарт определяет требования, методы испытаний и правила проверки кремниевых отожженных и полированных пластин, используемых в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Настоящий стандарт распространяется на отожженные кремниевые пластины с шириной линий 180, 130 и 90 нм.

GB/T 26069-2010 Ссылочный документ

• GB/T 11073 Стандартный метод измерения изменения радиального удельного сопротивления на срезах кремния.
• GB/T 13387 Метод испытаний для измерения плоских пластин кремния и других электронных материалов
• GB/T 13388 Способ измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах и пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
• GB/T 14140 Метод испытаний для измерения диаметра полупроводниковой пластины
• GB/T 14144 Метод испытаний для определения радиального изменения межузельного кислорода в кремнии
• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 1550 Методы испытаний типа проводимости примесных полупроводниковых материалов*， 2018-12-28 Обновление
• GB/T 1554 Метод испытания кристаллографического совершенства кремния методами избирательного травления
• GB/T 1555 Метод определения кристаллической ориентации монокристалла полупроводника*， 2023-08-06 Обновление
• GB/T 1557 Метод испытаний для определения содержания межузельного кислорода в кремнии методом инфракрасного поглощения*， 2018-09-17 Обновление
• GB/T 19921 Метод испытания частиц на полированных поверхностях кремниевых пластин*， 2018-12-28 Обновление
• GB/T 24578 Метод испытаний для измерения загрязнения поверхности кремниевых пластин металлами методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения*， 2015-12-10 Обновление
• GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)*， 2013-02-15 Обновление
• GB/T 4058 Метод испытаний для обнаружения окислительных дефектов в полированных кремниевых пластинах
• GB/T 6616 Бесконтактный вихретоковый метод измерения удельного сопротивления полупроводниковых пластин и листов полупроводниковых пленок.*， 2023-08-06 Обновление
• GB/T 6618 Метод испытания толщины и изменения общей толщины пластинок кремния
• GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
• GB/T 6621 Методы проверки плоскостности поверхности пластинок кремния
• GB/T 6624 Стандартный метод измерения качества поверхности полированных пластинок кремния путем визуального контроля
• YS/T 26 Метод контроля контура края кремниевой пластины*， 2016-07-11 Обновление

GB/T 26069-2010 История

• 2022 GB/T 26069-2022 Отожженные пластины монокристаллического кремния
• 2011 GB/T 26069-2010 Спецификация на кремниевые отожженные пластины